國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。

國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

產(chǎn)品特點(diǎn)

高速掃描驅(qū)動(dòng)器

駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過濾系統(tǒng)

SE/BSE信號(hào)自由切換，

信號(hào)混合比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實(shí)現(xiàn)高分辨大場模式，

4 nm像素點(diǎn)最大視場達(dá)64*64 um2

樣品臺(tái)減速技術(shù)

降低入射電子落點(diǎn)電壓，

同時(shí)提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復(fù)合物鏡

物鏡磁場浸沒樣品

實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、高速自動(dòng)化

全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

2、大場低畸變

跟隨掃描場動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

3、低壓高分辨

樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率

產(chǎn)品參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體工業(yè)

生命科學(xué)

材料科學(xué)

地質(zhì)科學(xué)